干式螺桿真空泵工作原理主要是利用齒輪傳動(dòng)同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉(zhuǎn)動(dòng)，利用泵殼和相互嚙合的螺旋槳螺旋槽分割成多個(gè)空間、形成多個(gè)級(jí)，氣體在相等的各個(gè)槽內(nèi)進(jìn)行傳輸運(yùn)動(dòng)，無(wú)壓縮，只有螺桿Zui末端的螺旋結(jié)構(gòu)才對(duì)氣體有壓縮的作用。螺桿的各級(jí)間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比，各部間隙和泵轉(zhuǎn)速對(duì)泵的性能有很大影響。在設(shè)計(jì)螺桿各部的間隙時(shí)，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環(huán)境等。干式螺桿真空泵與羅茨真空泵一樣不設(shè)排氣閥。