島津科學(xué)儀器（Shimadzu Scientific Instruments）正式發(fā)布TOC-1000e S在線總有機(jī)碳（TOC）分析儀。該設(shè)備專為滿足先進(jìn)半導(dǎo)體制造中日益嚴(yán)格的超純水水質(zhì)要求而設(shè)計(jì)。隨著半導(dǎo)體器件持續(xù)微型化，超純水中痕量有機(jī)污染物會(huì)直接影響工藝穩(wěn)定性與良率，因此對(duì)TOC進(jìn)行精準(zhǔn)可靠的監(jiān)測(cè)至關(guān)重要。

傳統(tǒng)在線TOC分析儀在檢測(cè)尿素等難氧化化合物時(shí)往往存在局限，此類物質(zhì)可能在凈化后殘留并影響晶圓制程。TOC-1000e S由領(lǐng)先半導(dǎo)體制造商直接參與開(kāi)發(fā)，通過(guò)提升靈敏度與實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)能力，應(yīng)對(duì)下一代制造環(huán)境的需求。

在檢測(cè)性能方面，該分析儀采用島津?qū)Ｓ蠥ctive-Path?配置，使樣品暴露于準(zhǔn)分子燈產(chǎn)生的高能短波紫外光下，實(shí)現(xiàn)對(duì)尿素及其他難氧化有機(jī)化合物的高靈敏度檢測(cè)，從而更準(zhǔn)確地評(píng)估超純水質(zhì)量。

針對(duì)快速污染響應(yīng)需求，設(shè)備采用簡(jiǎn)化的流路設(shè)計(jì)，將準(zhǔn)分子燈與電導(dǎo)率探測(cè)器串聯(lián)，支持連續(xù)運(yùn)行與實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，幫助制造商迅速識(shí)別污染源并排查潛在缺陷。

設(shè)備體積緊湊，重量約3公斤，適用于臺(tái)面、壁掛或管道安裝。側(cè)面配備小瓶取樣器支持現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)，便攜性使其便于在不同測(cè)量點(diǎn)間移動(dòng)或作為備用機(jī)使用。大尺寸顯示屏、直觀的操作界面及彩色狀態(tài)指示燈簡(jiǎn)化了日常操作、數(shù)據(jù)查閱與維護(hù)流程。

維護(hù)方面，前端可訪問(wèn)的設(shè)計(jì)減少了維護(hù)工作量，準(zhǔn)分子燈和泵頭等部件無(wú)需工具即可更換?？蛇x配的小瓶樣品與認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)溶液支持現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)驗(yàn)證，穩(wěn)定性檢查功能則可在設(shè)備遷移或維護(hù)后提供確認(rèn)。

數(shù)據(jù)交互與連接方面，測(cè)量數(shù)據(jù)可通過(guò)USB以CSV或PDF格式導(dǎo)出，也可通過(guò)模擬輸出傳輸，或發(fā)出警告與事件信號(hào)。網(wǎng)絡(luò)功能允許用戶通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)網(wǎng)頁(yè)瀏覽器遠(yuǎn)程監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)，無(wú)需專用軟件。

資料來(lái)源：AZoM；原文發(fā)布日期：2026-09-15。本文為資料編譯。