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選擇光刻膠需要注意什么

光刻加工工藝中為了圖形轉(zhuǎn)移,輻照必須作用在光刻膠上,通過改變光刻膠材料的性質(zhì),使得在完成光刻工藝后,光刻版圖形被拷貝在圓片的表面。而加工前,NR2120000P光刻膠,如何選用光刻膠在很大程度上已經(jīng)決定了光刻的精度。盡管正性膠的分辨力是較好的,但實(shí)際應(yīng)用中由于加工類型、加工要求、加工成本的考慮,需要對光刻膠進(jìn)行合理的選擇。

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光刻膠分類

1、負(fù)性光刻膠

主要有聚酸系(聚酮膠)和環(huán)化橡膠系兩大類,前者以柯達(dá)公司的KPR為代表,后者以O(shè)MR系列為代表。

2、正性光刻膠

主要以重氮醒為感光化臺物,以酚醛樹脂為基本材料。的有AZ-1350系列。正膠的主要優(yōu)點(diǎn)是分辨率高,NR2120000P光刻膠多少錢,缺點(diǎn)是靈敏度、耐刻蝕性和附著性等較差。

3、負(fù)性電子束光刻膠

為含有環(huán)氧基、乙烯基或環(huán)硫化物的聚合物。的是COP膠,典型特性:靈敏度0.3~0.4μC/cm^2 (加速電壓10KV時)、分辨率1.0um、對比度0.95。限制分辨率

的主要因素是光刻膠在顯影時的溶脹。

4、正性電子束光刻膠

主要為甲酯、烯砜和重氮類這三種聚合物。的是PMMA膠,NR2120000P光刻膠價格,典型特性:靈敏度40~ 80μC/cm^2 (加速電壓20KV時)、分辨率0.1μm、 對比度2~3。

PMMA膠的主要優(yōu)點(diǎn)是分辨率高。主要缺點(diǎn)是靈敏度低,此外在高溫下易流動,耐干法刻蝕性差。

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  光刻膠的主要技術(shù)參數(shù)

1.靈敏度(Sensitivity)

靈敏度是衡量光刻膠曝光速度的指標(biāo)。光刻膠的靈敏度越高,所需的曝光劑量越小。單位:毫焦/平方厘米或mJ/cm2。

2.分辨率(resolution)

區(qū)別硅片表面相鄰圖形特征的能力。一般用關(guān)鍵尺寸(CD,CriticalDimension)來衡量分辨率。形成的關(guān)鍵尺寸越小,光刻膠的分辨率越好。

光刻膠的分辨率是一個綜合指標(biāo),影響該指標(biāo)的因素通常有如下3個方面:

(1) 曝光系統(tǒng)的分辨率。

(2)光刻膠的對比度、膠厚、相對分子質(zhì)量等。一般薄膠容易得到高分辨率圖形。

(3) 前烘、曝光、顯影、后烘等工藝都會影響光刻膠的分辨率。 

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更新時間
統(tǒng)一社會信用代碼
91110302306413158D
法定代表人
墨曉東
注冊資本
100 萬元

主營產(chǎn)品

光刻膠

經(jīng)營范圍

銷售電氣設(shè)備、電子產(chǎn)品、機(jī)械設(shè)備、通訊設(shè)備、燈具、家用電器、計算機(jī)軟件及輔助設(shè)備、建筑材料、汽車配件、金屬材料、電子元器件、工藝品、日用品、五金交電、化工產(chǎn)品 機(jī)械設(shè)備維修 技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)服務(wù)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓 承辦展覽展示活動、會議服務(wù) 組織文化藝術(shù)交流活動(不含演出) 貨物進(jìn)出口、技術(shù)進(jìn)出口、代理進(jìn)出口。依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后依

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北京賽米萊德貿(mào)易有限公司位于北京市北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū),毗鄰中芯國際,京東方,RFMD------等半導(dǎo)體、LCD工廠。在半導(dǎo)體,LED,TFT-LCD,太陽能光伏領(lǐng)域具有十年以上的進(jìn)口設(shè)備代理和安裝維修經(jīng)驗。是一家致力于LED,MEMS,光電半導(dǎo)體,太陽能光伏工廠及實(shí)驗室所需設(shè)備、耗材的全套解決方案提供商,經(jīng)銷歐美日韓有名品牌光電半導(dǎo)體制程儀器設(shè)備,零附件,耗材,對中國國內(nèi)廣大客戶提供的產(chǎn)品咨詢和技術(shù)銷售服務(wù)。一直專注于微電子、微細(xì)加工...

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