| 品牌 | 紐曼和瑞微波 | 型號 | HMPS-2050 |
| 規(guī)格 | 2450±50MHz | 產(chǎn)品別名 | 微波等離子體（CVD）系統(tǒng) |
| 用途 | 1）金剛石等多種薄膜的化學(xué)汽相沉積的研究和中試加工；2）基片的刻蝕和灰化；3）作為高密度、寬束離子源；4）低溫氧化物的生長；5）等離子體表面處理和其它實驗加工 |
●系統(tǒng)采用hmg-2050，5kw/2450mhz高穩(wěn)定程控微波功率源。運用完善的線路安全閉鎖控制系統(tǒng)，使該系統(tǒng)工作壽命長，電氣性能優(yōu)良，安全可靠，操作簡單方便。
●微波傳輸系統(tǒng)由高性能微波環(huán)行器，銷釘調(diào)配器，帶反射波取樣的水負(fù)載以及外部連接波導(dǎo)組成。它確保反射波對磁控管的良好隔離，并能方便地調(diào)節(jié)匹配，達(dá)到微波功率的傳輸。
●下注式微波反應(yīng)腔可在很寬的運行范圍內(nèi)把微波功率耦合給等離子體，在等離子體放電室中產(chǎn)生高密度、高電離度、大面積均勻穩(wěn)定的微波放電。為確保穩(wěn)定工作,腔壁采用雙層水冷。
●多端口等離子體放電腔帶8～12個端口，是雙層水冷結(jié)構(gòu)的大容積放電腔。
系統(tǒng)主要用途：1）金剛石等多種薄膜的化學(xué)汽相沉積的研究和中試加工；2）基片的刻蝕和灰化；3）作為高密度、寬束離子源；4）低溫氧化物的生長；5）等離子體表面處理和其它實驗加工。
技術(shù)參數(shù) | |
微波源： | hmg-2050 |
工作頻率： | 2450±50mhz |
輸出功率： | 0.5~5kw連續(xù)可調(diào) |
功率穩(wěn)定度： | 優(yōu)于±1% |
輸出波導(dǎo)接口： | bj-26帶fd-26標(biāo)準(zhǔn)法蘭 |
輸入電源： | 380v/50hz±5%三相四線 |
冷卻水流量： | >5l/min |
微波反應(yīng)腔 | 下注tm013模式 |
微波放電腔： | 多端口，帶雙層水冷 |
真空系統(tǒng)： | 450l/min分子泵和旁路機組，中氣壓真空測控 |
氣路系統(tǒng)： | 4路mfc控制 |
樣品支架系統(tǒng)： | 基板直徑φ100mm，軸向調(diào)節(jié)距離：0～150mm |
直流偏壓源： | v=300vi=100ma |
微波工業(yè)應(yīng)用 ; 微波等離子體系列 ; 微波源系列 ; 微波大功率計 ; 微波波導(dǎo)元件系列
研發(fā)、生產(chǎn)、銷售：微波能產(chǎn)品、微波通訊產(chǎn)品、農(nóng)業(yè)機械設(shè)備；微波能應(yīng)用技術(shù)及微波通訊技術(shù)咨詢服務(wù)；批發(fā)、零售:計算機及配件、五金交電、汽車配件、電子產(chǎn)品、機械產(chǎn)品、化工產(chǎn)品（不含危險品）；貨物進(jìn)出口（國家法律法規(guī)限制或禁止的除外）。（依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動）。
成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司是一家專注于微波等離子體應(yīng)用的國家高新技術(shù)企業(yè)，超過20年的微波等離子體化學(xué)氣象沉積裝備（MPCVD）研發(fā)和生產(chǎn)經(jīng)驗，是國內(nèi)最早從事MPCVD設(shè)備國產(chǎn)化替代進(jìn)口設(shè)備的企業(yè)，在人造金剛石領(lǐng)域得到了廣泛認(rèn)可和應(yīng)用。 紐曼和瑞團隊始終堅持以科技創(chuàng)新為主的發(fā)展方向，不懈追求產(chǎn)品研發(fā)創(chuàng)新和工藝提升、夯實生產(chǎn)管理能力、嚴(yán)格把控產(chǎn)品質(zhì)量，致力成為專業(yè)全能的培育鉆石生產(chǎn)解決方案提供商，以高性能產(chǎn)品和工藝解決方案助力碳材料產(chǎn)業(yè)...