純離子鍍膜設(shè)備主要是集純離子膜技術(shù)、高能離子束清洗技術(shù)和磁控濺射技術(shù)三種技術(shù)融合于一體，其獨有的純離子鍍膜源專利技術(shù)具有電磁過濾系統(tǒng)和高頻電磁掃描系統(tǒng)兩大創(chuàng)新點，電磁過濾系統(tǒng)可以過濾掉中性粒子、大顆粒離子團等雜質(zhì)，提高了離化率，使膜層更加致密，硬度更高，耐磨性和耐腐蝕性也更優(yōu)異。可以鍍制厚度范圍從幾百納米到二十多徽米的超級類金剛石Ta-C膜層，還可以利用純離子技術(shù)鍍制各種純金屬及金屬化合物膜層如:Cr、Cu、Al、Ag、Pt、TiN、TiC、CrN，WC等。

產(chǎn)品特點：

>低溫鍍膜、高效過濾；

>專利技術(shù)、工藝成熟;

>膜層性能優(yōu)越：硬度高、摩擦系數(shù)低;

>多種膜層系列、可大批量高效率生產(chǎn)等。

主要運用：

>汽車和柴油車發(fā)動機關(guān)鍵零部件；

>紡織行業(yè)關(guān)鍵零部件;

>高校及科研院所；

>刀具模具、醫(yī)療器械、消費電子行業(yè)等。

膜層特點有:鍍膜溫度低、無熱應(yīng)力、高純度、高致密、超硬、無顆粒、耐磨損、摩擦系數(shù)小、防刮花、耐腐蝕、均勻性好、粘附性好等。