眾所周知，在某些材料的表面上，只要鍍上一層薄膜，飾品Parylene涂層，就能使材料具有許多新的、良好的物理和化學(xué)性能。20世紀(jì)70年代，在物體表面上鍍膜的方法主要有電鍍法和化學(xué)鍍法。前者是通過通電，使電解液電解，被電解的離子鍍到作為另一個電極的基體表面上，因此這種鍍膜的條件，基體必須是電的良導(dǎo)體，而且薄膜厚度也難以控制。后者是采用化學(xué)還原法，必須把膜材配制成溶液，并能迅速參加還原反應(yīng)，這種鍍膜方法不僅薄膜的結(jié)合強度差，而且鍍膜既不均勻也不易控制，同時還會產(chǎn)生大量的廢液，塑料Parylene涂層，造成嚴(yán)重的污染。因此，這兩種被人們稱之為濕式鍍膜法的鍍膜工藝受到了很大的限制。

鍍膜前的準(zhǔn)備工作

①清潔真空鍍膜室。用吸塵器將真空鍍膜室清潔一遍。當(dāng)經(jīng)過多次鍍膜時，汽車配件Parylene涂層，真空鍍膜室的內(nèi)襯板還需作定期清洗，一般是半個月清洗一次。

②檢查電弧蒸發(fā)源。工作前，Parylene涂層，要確保電弧蒸發(fā)源發(fā)源安裝正確，絕緣良好，引弧針控制靈活，程合適，恰好能觸及陰極表面。

③檢查工件架的絕緣情況。工件架與地之間的絕緣必須須良好，負偏壓電源與工件架的接觸點點必須接觸良好。

以上幾項工作確保沒有問題后，才可以關(guān)閉真空鍍膜室的門，進行抽氣和鍍膜。

　　手機納米膜真空設(shè)備系統(tǒng)的簡單介紹

　　(1)主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。

　　(2)前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。

　　(3)粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，就是粗油泵。

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