全自動晶圓去膠清洗機-國產(chǎn)天堂精品在線,無敵神馬影視影院在線好男人社區(qū)適用于硅片晶圓濕法清洗、濕法刻蝕、顯影、去膠、LIFT-OFF等工藝；

標準吸盤適用于2-12英寸晶圓，其它規(guī)格可定制；

一體式清洗腔體；

進口伺服電機控制，轉(zhuǎn)速及工藝時間參數(shù)可自由設(shè)定；

采用進口專用旋轉(zhuǎn)電機，運行安靜平穩(wěn)，故障率低；

全自動晶圓去膠清洗機-國產(chǎn)天堂精品在線,無敵神馬影視影院在線好男人社區(qū)真空吸盤采用PEEK+PTFE材質(zhì)，強度高、耐腐蝕、密封性能好；

載片臺采用真空吸附+PIN定位，防止甩片碎片；真空度≤-100KPa；

化學液及純水自動供應(yīng)，流量可視可調(diào)；

可裝配裝取片機器人；

全自動晶圓去膠清洗機-國產(chǎn)天堂精品在線,無敵神馬影視影院在線好男人社區(qū)配套藥液供應(yīng)系統(tǒng)；

配有兆聲清洗，兆聲頻率280-950KHz可選，功率連續(xù)可調(diào)；

可配置滾刷刷洗；

Zui高轉(zhuǎn)速可達3500RPM+；

工藝參數(shù)可設(shè)定存儲；

全自動晶圓去膠清洗機-國產(chǎn)天堂精品在線,無敵神馬影視影院在線好男人社區(qū)主要優(yōu)點及應(yīng)用

增加化膠區(qū)多片化膠功能，立式擺放，同時可放多片繃膜環(huán)進行化膠，提高清洗效率增加加液及回收桶，方便加液及集中處理廢液，并且翹曲，厚度可以測量

化膠溶液循環(huán)凈化過濾系統(tǒng)，減少排放，提高重復利用率，降低成本

全自動晶圓去膠清洗機-國產(chǎn)天堂精品在線,無敵神馬影視影院在線好男人社區(qū)全包圍安全護罩，保護操作人員不被機械部件碰撞

采用伺服電機驅(qū)動，可精準定位

產(chǎn)品夾爪，齒輪齒條運動，可兼容8~12吋片環(huán)，不用頻繁更換料爪

放置到化膠浸泡區(qū)浸泡15-20S，可垂直放置5件

清潔毛刷共8個，前后兩組，上下，左右清洗，全方位無死角