石英管清洗機(jī)主要采用手動(dòng)搬運(yùn)方式，通過(guò)對(duì)擴(kuò)散、外延等設(shè)備的石英管、碳化硅管腐蝕、漂洗等方式進(jìn)行處理，從而達(dá)到一個(gè)用戶要求的清洗效果。主體采用PP板，骨架采用不銹鋼外包PP防腐板；適用于各種規(guī)格石英管、石英器皿及其它工件的清洗和干燥；適用于各種規(guī)格石英管、石英器皿及其它工件的清洗和干燥。

石英管清洗機(jī)可根據(jù)客戶需求定制，可根據(jù)不同規(guī)格型號(hào)的石英工件，可選擇上/下噴藥液、旋轉(zhuǎn)、氮?dú)夤呐?、熱氮干燥等形式，有效取出石英工件上的各種粘污；

特點(diǎn)：

1.腐蝕漂洗能力強(qiáng)，性能穩(wěn)定，安全可靠；

2.設(shè)備成本合理，自動(dòng)化程度高，使用成本低；

3.技術(shù)先進(jìn)，結(jié)構(gòu)合理，適宜生產(chǎn)線上大批次操作。

石英管清洗機(jī)上層電器控制系統(tǒng)及抽風(fēng)系統(tǒng)，中層工作區(qū)，下層為管道安裝維修區(qū)，主體結(jié)構(gòu)由清洗機(jī)主體、酸洗槽、水清洗槽、防漏盤(pán)、抽風(fēng)系統(tǒng)、工件滾動(dòng)系統(tǒng)、氮?dú)夤呐菹到y(tǒng)、支撐及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、管路部分、電控部分。設(shè)備裝有雙防漏盤(pán)結(jié)構(gòu)，并有防漏檢測(cè)報(bào)警系統(tǒng)，在整臺(tái)設(shè)備的底部裝有接液盤(pán)。槽體下方配有傾斜式防漏層。

石英管清洗機(jī)功能說(shuō)明：

制程均勻度可用 recipe調(diào)控。

良率優(yōu)于 wet benchtype。

石英管清洗機(jī)單片模式之機(jī)況可控制可追溯。

制程個(gè)別參數(shù)易于調(diào)整。

可控制之藥液量使用,能保持每片晶片之相同制程環(huán)境。

石英管清洗機(jī)潔凈度控制優(yōu)于批次生產(chǎn)。

Footprint較小。

這用于 wafer dry in / dryout制程。

機(jī)臺(tái)之安全性優(yōu)于 benchtype。

為未來(lái)濕式高階設(shè)備之主流機(jī)臺(tái)。

石英管清洗機(jī)清洗工藝流程：

　　檢查水、電、氣正?！鷨?dòng)電源→人工上料→注酸→槽體底部氮?dú)夤呐荨⒐苻D(zhuǎn)動(dòng)（7轉(zhuǎn)/min）→進(jìn)入酸泡程序→自動(dòng)排酸(到儲(chǔ)酸箱)→槽體底部自動(dòng)注水（同時(shí)氣動(dòng)碟閥關(guān)閉）→懸浮顆粒物經(jīng)過(guò)溢流壩流出→排水碟閥打開(kāi)（重顆粒雜質(zhì)排出）→初級(jí)潔凈水經(jīng)過(guò)溢流壩溢出→清洗次數(shù)重復(fù)循環(huán)（人工控制）→下料。