全自動晶圓雙面刷洗機(jī)-艾克斯劇場版中文版免費(fèi)觀看|國產(chǎn)91精精品是一款專門為晶圓雙面清洗設(shè)計(jì)的系統(tǒng)，獨(dú)立系統(tǒng)，占地面積小，非常適合有限的空間。具有4路化學(xué)液清洗，兆聲清洗，雙面PVA刷洗，去離子水沖洗等清洗模塊，對晶圓有dingji的清洗能力。

全自動晶圓雙面刷洗機(jī)-艾克斯劇場版中文版免費(fèi)觀看|國產(chǎn)91精精品具有位于雙面刷洗段輸送機(jī)構(gòu)尾端的雙面刷洗裝置，雙面刷洗裝置包括刷洗支座、兩個(gè)可從內(nèi)部噴液的毛刷、兩根同步轉(zhuǎn)動的刷洗軸組件和驅(qū)動刷洗軸組件旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動組件，刷洗軸組件可旋轉(zhuǎn)地支承在刷洗支座上，刷洗支座安裝在機(jī)架上，毛刷分別套裝在相應(yīng)的刷洗軸組件上，兩個(gè)毛刷分別位于待測晶圓片的兩側(cè)；全自動晶圓雙面刷洗機(jī)-艾克斯劇場版中文版免費(fèi)觀看|國產(chǎn)91精精品還包括使位于雙面刷洗裝置內(nèi)的晶圓片旋轉(zhuǎn)的晶圓片旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置；還包括下料裝置；還包括將沖洗段輸送機(jī)構(gòu)上的晶圓片推送至下料晶圓片盒上的卸片裝置。本發(fā)明自動化程度高，對晶圓片的正反面同步進(jìn)行刷洗，刷洗效果好，對去除0.3微米以下的微小顆粒有著明顯的效果，解決了其它設(shè)備無法清洗的難題，有效保證晶圓片表面高要求的潔凈度，達(dá)到了2寸晶圓片表面潔凈度0.3微米的顆粒≤30顆的高要求。

全自動晶圓雙面刷洗機(jī)-艾克斯劇場版中文版免費(fèi)觀看|國產(chǎn)91精精品特點(diǎn)：

晶圓Zui大 300mm

PVA雙面刷洗

支持4路化學(xué)液清洗，包括氨水與SCI液體

全自動晶圓雙面刷洗機(jī)-艾克斯劇場版中文版免費(fèi)觀看|國產(chǎn)91精精品工作臺含驅(qū)動組件，用于晶圓低速旋轉(zhuǎn)（50-100rpm）

化學(xué)清洗臂含 4 路化學(xué)液

去離子水和稀釋氨分配的水坑噴嘴

去離子水的 BSR（背面沖洗）噴嘴

全自動晶圓雙面刷洗機(jī)-艾克斯劇場版中文版免費(fèi)觀看|國產(chǎn)91精精品帶有流通孔的工藝室

標(biāo)配三種不同化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)

工藝室外的手動去離子水槍。

化學(xué)液可加熱，Zui高可達(dá) 60°C（Zui高85°C ）

全自動晶圓雙面刷洗機(jī)-艾克斯劇場版中文版免費(fèi)觀看|國產(chǎn)91精精品外部可更換化學(xué)液

支持兆聲清洗

支持高壓等離子水沖洗

全自動晶圓雙面刷洗機(jī)-艾克斯劇場版中文版免費(fèi)觀看|國產(chǎn)91精精品技術(shù)數(shù)據(jù)：

襯底尺寸: ?200 mm (?8inch) 或 ?300 mm (?12 inch)

電機(jī)轉(zhuǎn)速: Zui大 3.000 rpm, 步長 1rpm

電機(jī)加速: 1 至 999.9 秒，步長 0.1 s

工藝腔室: 由 PP 白色制成（可選 PVDF)

全自動晶圓雙面刷洗機(jī)-艾克斯劇場版中文版免費(fèi)觀看|國產(chǎn)91精精品應(yīng)用：

帶圖案或不帶圖案的掩模版和晶圓片

Ge, GaAs以及InP晶圓片清洗

CMP處理后的晶圓片清洗

晶圓框架上的切粒芯片清洗

全自動晶圓雙面刷洗機(jī)-艾克斯劇場版中文版免費(fèi)觀看|國產(chǎn)91精精品等離子刻蝕或光刻膠剝離后的清洗

帶保護(hù)膜的分劃版清洗

掩模版空白部位或接觸部位清洗

X射線及極紫外掩模版清洗

全自動晶圓雙面刷洗機(jī)-艾克斯劇場版中文版免費(fèi)觀看|國產(chǎn)91精精品光學(xué)鏡頭清洗

ITO涂覆的顯示面板清洗

兆聲輔助的剝離工藝