abls系列運動平臺是星微科技一款面向高精度、高端應(yīng)用市場的氣浮直線平臺。憑借研發(fā)團隊在材料、設(shè)計、分析方面的專業(yè)技術(shù)對平臺整體進行不斷設(shè)計優(yōu)化，采用非接觸的氣浮軸承與磁預(yù)載的結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)無摩擦的平滑運動，使abls系統(tǒng)運動平臺達到微米~納米的定位精度及重復(fù)定位精度。 

   abls系列運動平臺主要構(gòu)成部分，包括底座、導(dǎo)軌、氣浮滑塊和頂板等，采用直線電機驅(qū)動。定位平臺的懸浮工作原理是在供氣孔道中通入一定氣壓的壓縮空氣，氣體經(jīng)過節(jié)流孔在氣浮滑塊與導(dǎo)軌、底座的相對面中形成 10μm 左右的氣膜并產(chǎn)生一定的懸浮力,氣膜支撐氣浮滑塊與頂板組成的滑臺作一維直線運動，當(dāng)懸浮力與實驗平臺重量平衡時，這個運動平臺處于穩(wěn)定懸浮狀態(tài)。當(dāng)作為系統(tǒng)負載的氣浮滑塊發(fā)生變化或者有外界干擾時,系統(tǒng)本身通過改變氣浮滑塊與導(dǎo)軌之間的縫隙量改變懸浮力達到重新平衡；具有一定的自主調(diào)節(jié)能力,氣膜支撐氣浮滑塊與頂板組成的滑臺作一維直線運動。

     abls系列運動平臺采用u型槽式直線電機驅(qū)動，這種電機結(jié)構(gòu)簡單，定位精度高，反應(yīng)速度快、靈敏度高，隨動性好，可以實現(xiàn)無接觸傳遞力，機械摩擦損耗幾乎為零，所以故障少，免維修，因而工作安全可靠、壽命長，結(jié)合高分辨率海德漢光柵尺以及pid閉環(huán)智能控制技術(shù)，abls系列運動平臺加速度可以達到2g，速度2m/s，精度0.3um。

    abls系列運動平臺為微光刻技術(shù)、數(shù)控加工、生物技術(shù)、ic 封裝設(shè)備、納米表面形貌測量等領(lǐng)域提供一個能夠?qū)崿F(xiàn)精密定位和運動的載物平臺，在先進的電子制造設(shè)備比如光刻機貼片機等，高性能的運動平臺是其工作的主要機構(gòu)。此外，在還可作為微型機電系統(tǒng)的制造和檢測、光學(xué)測量加工領(lǐng)域、超精密機械加工、航空發(fā)動機測量制造等精密定位的理想選擇。