節(jié)能玻璃鍍膜用釕靶

節(jié)能玻璃鍍膜用釕靶

純度：≥99.95% 99.99%

規(guī)格：Φ≥20mm，50-100mm，＞100mm；T2-10mm；公差±0.1mm; 尺寸靈活可定制

密度：＞97%

晶粒尺寸：＜50μm?

產(chǎn)品及公司優(yōu)勢(shì)

產(chǎn)品純度高，晶粒度均勻，表面光潔，濺射面均勻，使用壽命長(zhǎng)。品控嚴(yán)格，質(zhì)量穩(wěn)定，供貨及時(shí)。

在生產(chǎn)陶瓷靶、難熔金屬靶、多元金屬靶上占有優(yōu)勢(shì)，通過SPS燒結(jié)工藝，純度高達(dá)5N，晶?？煽兀叽珈`活，交付迅速，滿足科研實(shí)驗(yàn)、半導(dǎo)體芯片高端制造的嚴(yán)苛要求，同步提供靶材實(shí)驗(yàn)服務(wù)，7-15天快速交付，加速客戶產(chǎn)品迭代與性能驗(yàn)證，持續(xù)為全球靶材行業(yè)賦能。

采用的電子束熔煉（EB）和真空自耗熔煉（VAR）工藝，實(shí)現(xiàn)高熔點(diǎn)金屬的精準(zhǔn)提純，支持超大型靶材錠坯（單重500kg-2t）定制開發(fā)，純度達(dá)99.99%-99.999%。

檢測(cè)中心配備日本日立掃描電鏡（5萬倍）、ICP光譜儀等檢測(cè)設(shè)備，對(duì)材料成分、晶粒度、致密度等20余項(xiàng)指標(biāo)全流程監(jiān)控，嚴(yán)格把控品質(zhì)。

系列產(chǎn)品

金屬靶、陶瓷靶、高熵合金靶、二元/三元/多元合金靶、高純金屬蒸發(fā)料、化合物顆粒、靶材錠坯、靶材用噴涂粉。

產(chǎn)品應(yīng)用

適用設(shè)備：應(yīng)用于PVD技術(shù)鍍膜材料，各種單靶材系統(tǒng)，多靶濺射系統(tǒng)，離子濺射系統(tǒng)等磁控濺射設(shè)備。

應(yīng)用領(lǐng)域：科學(xué)實(shí)驗(yàn)研究方面應(yīng)用，納米加工，器件制造等相關(guān)產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于平面顯示、半導(dǎo)體、太陽能電池、光學(xué)元器件、節(jié)能玻璃等領(lǐng)域。

技術(shù)參數(shù)