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1.多頻超聲選擇,適于各種加工工藝產(chǎn)品;
2.槽體采用非金屬材料,避免引入金屬顆粒;
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4.全自動(dòng)機(jī)械臂移載,節(jié)省人力;
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6.配合上下晃動(dòng)機(jī)構(gòu),加強(qiáng)清洗效果;
7.專業(yè)配套可調(diào)節(jié)洗籃,可適應(yīng)大小不同產(chǎn)品共用;
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1、清洗效果:設(shè)備的清洗效果應(yīng)滿足工藝要求,將晶圓表面的雜質(zhì)和污染物徹底清除,確保產(chǎn)品質(zhì)量。
2、清洗速度:設(shè)備的清洗速度應(yīng)高,以提高生產(chǎn)效率。
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4. 清洗工藝控制:設(shè)備應(yīng)具備清洗工藝控制系統(tǒng),可以調(diào)整清洗時(shí)間、溫度、壓力等參數(shù),以適應(yīng)不同的工藝要求。
5. 自動(dòng)化程度:設(shè)備應(yīng)具備自動(dòng)化控制功能,能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓的快速裝卸、清洗和轉(zhuǎn)移,減少人工操作和降低人為錯(cuò)誤。
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以上是晶圓清洗設(shè)備的分類及技術(shù)要求的基本介紹,具體選擇時(shí)還需要根據(jù)實(shí)際需求和預(yù)算進(jìn)行綜合考慮。
清洗后產(chǎn)品表面無(wú)灰塵、無(wú)石墨粉屑、無(wú)水且干燥,無(wú)新引入金屬離子污染;
石墨盤(pán)CVD前后清洗機(jī)
超聲波清洗機(jī); 工業(yè)冷水機(jī)組; 工業(yè)純水機(jī)
超聲波清洗機(jī)、工業(yè)純水機(jī)、工業(yè)冷水機(jī)、電鍍?cè)O(shè)備、超聲波塑焊機(jī)的銷售;國(guó)內(nèi)商業(yè)、物資供銷業(yè);貨物及技術(shù)進(jìn)出口。(以上均不含法律、行政法規(guī)、國(guó)務(wù)院決定禁止及規(guī)定需前置審批項(xiàng)目)^;
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