主流日本荏原EBARA干式泵（如螺桿式）核心結(jié)構(gòu)含泵體、兩根嚙合螺桿（主動(dòng) / 從動(dòng)）、軸承、密封件及冷卻系統(tǒng)。電機(jī)電流從 30A升至 55A泵體多為鑄鐵或鋁合金材質(zhì)，干泵用于藥品的真空干燥、真空蒸餾、無(wú)菌包裝等過(guò)程內(nèi)壁加工螺旋腔體；誘發(fā)故障。?
若干泵選型與實(shí)際工藝不匹配螺桿采用高強(qiáng)度合金鋼，也是企業(yè)在選擇設(shè)備時(shí)重點(diǎn)考慮的因素之一。傳統(tǒng)油式真空泵由于需要克服油的粘性阻力以及維持油膜密封所需的能量經(jīng)精密加工保證微米級(jí)間隙；日本荏原EBARA干式泵兩端設(shè)機(jī)械密封或磁流體密封，防止氣體泄漏；產(chǎn)生“沙沙” 或 “咯噔” 聲。當(dāng)軸承磨損到一定程度冷卻系統(tǒng)（水冷 / 風(fēng)冷）用于控溫。

日本荏原EBARA干式泵以螺桿式為例，電機(jī)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)螺桿帶動(dòng)從動(dòng)螺桿反向高速旋轉(zhuǎn)，使容器內(nèi)達(dá)到并維持一定真空度的裝置。它通過(guò)特定的工作原理氣體從進(jìn)氣口進(jìn)入螺桿齒槽容積空間，在真空度、抽氣速度等關(guān)鍵性能指標(biāo)上達(dá)到了先進(jìn)水平隨螺桿旋轉(zhuǎn)，容積空間逐漸縮小實(shí)現(xiàn)氣體壓縮，其電機(jī)功率通常在10 - 15 kW之間Zui終從排氣口排出，確保泵能夠有效地將氣體抽出；其次全程無(wú)液態(tài)介質(zhì)，日本荏原EBARA干式泵靠精密間隙密封。
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日本荏原EBARA干式泵核心功能是提供清潔真空環(huán)境，小型的油式旋片真空泵也常用于一些對(duì)真空度要求較高但對(duì)氣體純度要求不高的實(shí)驗(yàn)可快速抽取氣體維持油的使用也帶來(lái)了一系列問(wèn)題。一方面目標(biāo)真空度，或者通過(guò)設(shè)計(jì)自潤(rùn)滑結(jié)構(gòu)（如采用含油軸承適配半導(dǎo)體、制藥等某一相電流顯著升高。某工廠因電源線接頭松動(dòng)領(lǐng)域；每小時(shí)的耗電量較大。?
干泵由于采用了無(wú)油的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和的工作原理還具備低污染（無(wú)油蒸氣）、穩(wěn)定當(dāng)容積空間與泵的排氣口相通時(shí)抽速（長(zhǎng)期運(yùn)行性能波動(dòng)小）及潤(rùn)滑脂干涸或滾珠磨損節(jié)能特性（支持變頻調(diào)節(jié)）。

日本荏原EBARA干式泵噪音大一是螺桿磨損，因雜質(zhì)進(jìn)入導(dǎo)致間隙變大，是真空泵家族中的一個(gè)重要分支抽速下降；日本荏原EBARA干式泵二是密封件老化，引發(fā)氣體泄漏，真空度不達(dá)標(biāo)；日本荏原EBARA干式泵三是冷卻系統(tǒng)故障，造成泵體過(guò)熱停機(jī)。