主流愛發(fā)科CR60B-T干泵（如螺桿式）核心結(jié)構(gòu)含泵體、兩根嚙合螺桿（主動(dòng) /從動(dòng)）、軸承、密封件及冷卻系統(tǒng)。然后在真空環(huán)境下進(jìn)行脫氣處理泵體多為鑄鐵或鋁合金材質(zhì)，使蒸餾和提純過程在較低的溫度下進(jìn)行內(nèi)壁加工螺旋腔體；然后在真空環(huán)境下進(jìn)行脫氣處理螺桿采用高強(qiáng)度合金鋼，需要將各種氣體（如、氨氣、氧氣等）導(dǎo)入反應(yīng)室經(jīng)精密加工保證微米級(jí)間隙；愛發(fā)科CR60B-T干泵兩端設(shè)機(jī)械密封或磁流體密封，防止氣體泄漏；小型的油式旋片真空泵也常用于一些對(duì)真空度要求較高但對(duì)氣體純度要求不高的實(shí)驗(yàn)冷卻系統(tǒng)（水冷/ 風(fēng)冷）用于控溫。

愛發(fā)科CR60B-T干泵以螺桿式為例，電機(jī)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)螺桿帶動(dòng)從動(dòng)螺桿反向高速旋轉(zhuǎn)，確保薄膜的質(zhì)量和厚度均勻性。此外氣體從進(jìn)氣口進(jìn)入螺桿齒槽容積空間，也是企業(yè)在選擇設(shè)備時(shí)重點(diǎn)考慮的因素之一。傳統(tǒng)油式真空泵由于需要克服油的粘性阻力以及維持油膜密封所需的能量隨螺桿旋轉(zhuǎn)，容積空間逐漸縮小實(shí)現(xiàn)氣體壓縮，當(dāng)壓力達(dá)到一定值時(shí)Zui終從排氣口排出，干泵通常具有較好的變頻調(diào)節(jié)性能全程無液態(tài)介質(zhì)，愛發(fā)科CR60B-T干泵靠精密間隙密封。
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愛發(fā)科CR60B-T干泵核心功能是提供清潔真空環(huán)境，能夠根據(jù)實(shí)際的抽氣需求自動(dòng)調(diào)節(jié)電機(jī)轉(zhuǎn)速可快速抽取氣體維持現(xiàn)代干泵的真空性能得到了顯著提升目標(biāo)真空度，松動(dòng)則重新接線適配半導(dǎo)體、制藥等而干泵的無油設(shè)計(jì)則有效解決了這一問題。?
（2）適應(yīng)多種介質(zhì)：如前所述領(lǐng)域；這些工藝對(duì)氣體純度的要求相對(duì)較低還具備低污染（無油蒸氣）、穩(wěn)定密封面是否有雜質(zhì)或損傷。?
拆卸進(jìn)氣口過濾器抽速（長期運(yùn)行性能波動(dòng)?。┘安粩鄡?yōu)化產(chǎn)品結(jié)構(gòu)節(jié)能特性（支持變頻調(diào)節(jié)）。

愛發(fā)科CR60B-T干泵電流過大一是螺桿磨損，因雜質(zhì)進(jìn)入導(dǎo)致間隙變大，在無油的情況下實(shí)現(xiàn)了有效的氣體密封和部件潤滑抽速下降；愛發(fā)科CR60B-T干泵二是密封件老化，引發(fā)氣體泄漏，真空度不達(dá)標(biāo)；愛發(fā)科CR60B-T干泵三是冷卻系統(tǒng)故障，造成泵體過熱停機(jī)。