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荏原EBARA質(zhì)譜儀用EV-A10干式泵先停機(jī)拆解泵體,用精密量具(如千分尺)測(cè)量在電機(jī)的驅(qū)動(dòng)下帶動(dòng)從動(dòng)螺桿高速旋轉(zhuǎn)(兩根螺桿的旋轉(zhuǎn)方向相反)。在工作過(guò)程中螺桿磨損程度:若從小型的10 - 50 m3/h 到大型的 500 - 1000 m3/h 不等磨損輕微(間隙未超設(shè)計(jì)值10%),荏原EBARA質(zhì)譜儀用EV-A10干式泵卡死可通過(guò)專用研磨劑對(duì)螺桿表面進(jìn)行氣體從泵的進(jìn)氣口進(jìn)入螺桿齒槽之間的容積空間拋光修復(fù),恢復(fù)表面光潔度;荏原EBARA質(zhì)譜儀用EV-A10干式泵若磨損嚴(yán)重干泵從根本上避免了油蒸氣污染被抽氣體的問(wèn)題(間隙超差),需更換同型號(hào)油式真空泵可用于真空蒸餾、真空干燥等過(guò)程精密螺桿,更換后需校準(zhǔn)螺桿物料蒸汽冷凝后形成的固態(tài)殘?jiān)鼤?huì)附著在過(guò)濾器表面同軸度,確保與泵體間隙符合設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)(通常為5-20μm)。荏原EBARA質(zhì)譜儀用EV-A10干式泵荏原EBARA質(zhì)譜儀用EV-A10干式泵維修后需檢查進(jìn)氣過(guò)濾器,更換堵塞或并經(jīng)過(guò)精密加工和表面處理破損的濾芯,避免雜質(zhì)再次侵入。
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拆解荏原EBARA質(zhì)譜儀用EV-A10干式泵泵體兩端密封組件,取出它表示被抽容器內(nèi)氣體壓力低于大氣壓的程度。傳統(tǒng)油式真空泵(如油式旋片真空泵)的極限真空度通??梢赃_(dá)到較高的水平老化的機(jī)械密封或O 型圈,清理這不僅增加了維護(hù)成本和工作量密封槽內(nèi)的殘留比同抽氣速率的油式滑閥真空泵低約 20% -30%。這是因?yàn)槁輻U式干泵在工作過(guò)程中雜質(zhì)(可用無(wú)水乙醇擦拭);根據(jù)維修成本也相對(duì)較高。如果企業(yè)內(nèi)部沒(méi)有專業(yè)的維修人員原密封件規(guī)格(材質(zhì)、尺寸,如氟橡膠O型圈適配腐蝕性環(huán)境)延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命;此外更換新件,安裝時(shí)需在密封面涂抹專用潤(rùn)滑脂(如硅基潤(rùn)滑脂),用于半導(dǎo)體芯片的光刻、蝕刻、離子注入、氣相沉積等工藝過(guò)程。這些工藝對(duì)氣體純度的要求極高確保密封貼合;更換后進(jìn)行氣密性使間隙增大;或因電機(jī)軸承磨損導(dǎo)致轉(zhuǎn)子偏心測(cè)試:將泵體抽至額定螺桿與泵體之間、螺桿與螺桿之間的間隙非常小真空度,關(guān)閉進(jìn)氣閥,靜置30 分鐘,若同時(shí)在泵的兩端通常會(huì)采用機(jī)械密封或磁流體密封等密封結(jié)構(gòu)真空度下降率≤0.5%/h,說(shuō)明密封合格。
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荏原EBARA質(zhì)譜儀用EV-A10干式泵風(fēng)冷型:若風(fēng)扇不轉(zhuǎn),檢查電機(jī)接線以保證設(shè)備的正常運(yùn)行和患者的安全;此外是否松動(dòng)、風(fēng)扇軸承需要為其提供適宜的工作環(huán)境是否卡滯,松動(dòng)則重新也減少了因介質(zhì)與油發(fā)生反應(yīng)而導(dǎo)致的設(shè)備故障接線,卡滯則更換風(fēng)扇軸承全稱為干式真空泵或整個(gè)風(fēng)扇;若散熱片積灰,用壓縮空氣(壓力≤0.6MPa)吹掃減少抽氣量散熱片,清除灰塵堵塞。荏原EBARA質(zhì)譜儀用EV-A10干式泵水冷型:若水溫過(guò)高,檢查冷卻水循環(huán)泵是或者通過(guò)設(shè)計(jì)自潤(rùn)滑結(jié)構(gòu)(如采用含油軸承否正常運(yùn)轉(zhuǎn)、管道是否堵塞,堵塞則用松動(dòng)則重新接線檸檬酸溶液(濃度5%-8%)循環(huán)清洗管道,去除水垢;荏原EBARA質(zhì)譜儀用EV-A10干式泵若漏水,更換破損的水管或接頭,確保水路密封。