海德漢 LIC4100 敞開式光柵尺 ML470mm半導(dǎo)體設(shè)備光柵，納米級精度、非接觸無摩擦，適合光刻機(jī)、晶圓檢測平臺，安裝公差寬松、測量速度快。

海德漢 LIC4100 敞開式光柵尺 ML520mm潔凈室專用光柵，超潔凈設(shè)計(jì)、高精度高穩(wěn)定性，適應(yīng)真空與潔凈室工況，非接觸測量不影響機(jī)構(gòu)運(yùn)動。

海德漢 LIC4100 敞開式光柵尺 ML570mm光學(xué)檢測儀器光柵，高精度無磨損、壽命長久，適用于光學(xué)尺寸測量、輪廓儀、高度儀等設(shè)備。

海德漢 LIC3100 式光柵尺 ML620mm三坐標(biāo)專用光柵，大行程高精度測量，開機(jī)無需回零，測量穩(wěn)定、線性度優(yōu)異，抗環(huán)境干擾能力強(qiáng)。

海德漢 LIC3100 式光柵尺 ML670mm精密平臺光柵，超高分辨率滿足納米級定位，非接觸結(jié)構(gòu)無阻力，適用于精密位移臺、光學(xué)調(diào)整架。

海德漢 LIC3100 式光柵尺 ML720mm光學(xué)儀器傳感器，精度高、穩(wěn)定性強(qiáng)、溫度漂移小，適用于顯微鏡、光譜儀、精密位移調(diào)整機(jī)構(gòu)。

海德漢 LIP401 超高精度光柵尺 ML270mm計(jì)量級傳感器，高精度測量，適用于計(jì)量室標(biāo)準(zhǔn)器具、精密機(jī)床校準(zhǔn)、微電子加工設(shè)備。

海德漢 LIP401 超高精度光柵尺 ML320mm實(shí)驗(yàn)室標(biāo)準(zhǔn)光柵，滿足國家計(jì)量級精度要求，適用于長度基準(zhǔn)、校準(zhǔn)裝置、檢測標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。

海德漢 LIP401 超高精度光柵尺電子定位光柵，適用于芯片鍵合、光刻對準(zhǔn)、探針臺，納米級定位精度、高速響應(yīng)無滯后。

海德漢 LIF481 增量式光柵尺 ML470mm貼片機(jī)高速光柵，高速掃描響應(yīng)快，適合 SMT 貼片機(jī)、點(diǎn)膠機(jī)、插件機(jī)，非接觸測量無摩擦、定位精準(zhǔn)。

海德漢 LIF481 增量式光柵尺 ML520mm點(diǎn)膠機(jī)閉環(huán)傳感器，測量平穩(wěn)無抖動，保證點(diǎn)膠位置與行程精準(zhǔn)一致，提高點(diǎn)膠精度與產(chǎn)品良率。

海德漢 LIF481 增量式光柵尺 ML570mm電子制造微型光柵，體積小巧、安裝靈活，適用于小型自動化機(jī)構(gòu)、精密機(jī)械手、檢測治具。

海德漢 ROD430 編碼器 1024 線 ID684635主軸編碼器，實(shí)心軸結(jié)構(gòu)安裝牢固，適用于數(shù)控車床、銑床主軸轉(zhuǎn)速與位置反饋，信號穩(wěn)定抗振動。

海德漢 ROD430 編碼器 2048 線 ID684636通用編碼器，高性價(jià)比適用于包裝機(jī)、紡織機(jī)、印刷機(jī)，轉(zhuǎn)速反饋穩(wěn)定，抗干擾滿足工業(yè)現(xiàn)場。

海德漢 ROD430 編碼器 5000 線 ID684637高分辨率編碼器，高精度轉(zhuǎn)速位置反饋，適合精密加工主軸、高速磨頭、雕刻主軸。

海德漢 ROD486 編碼器 3600線印刷機(jī)編碼器，高轉(zhuǎn)速適應(yīng)性好、相位精度高，適用于印刷套色、薄膜分切、紙張復(fù)卷設(shè)備。