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型號(hào)
ZLFQ-15
溫度范圍
冷卻水溫度+5℃~35℃
廠家
無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司



半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備(Chiller)主要用于半導(dǎo)體制造過程中準(zhǔn)確控制反應(yīng)室的溫度。半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備利用制冷循環(huán)和工藝?yán)鋮s水的熱交換原理通過對(duì)半導(dǎo)體工藝設(shè)備使用的循環(huán)液的溫度、流量和壓力進(jìn)行控制,以實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體工藝制程的控溫需求,是集成電路制造過程中不可缺的關(guān)鍵設(shè)備。

半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備(Chiller)依據(jù)不同工藝制程要求控制給定溫度的循環(huán)液流經(jīng)半導(dǎo)體工藝設(shè)備反應(yīng)腔內(nèi),將熱量帶入半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備,半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備通過熱交換器將熱量傳遞給制冷劑,再通過制冷劑將熱量釋放給工藝?yán)鋮s水,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)工藝制程的溫度控制。








關(guān)鍵詞

半導(dǎo)體溫控設(shè)備 , 氣體降溫控溫系統(tǒng) , ?低溫測(cè)試設(shè)備 , 熱流儀 , Chiller

更新時(shí)間
黃金會(huì)員
第5年
統(tǒng)一社會(huì)信用代碼
913202145643217826
成立日期
2010年01月01日
法定代表人
顏厥枝
注冊(cè)資本
2000

主營(yíng)產(chǎn)品

制冷加熱循環(huán)器、加熱制冷控溫系統(tǒng)、反應(yīng)釜溫控系統(tǒng)、加熱循環(huán)器、低溫冷凍機(jī)、低溫制冷循環(huán)器、冷卻水循環(huán)器、工業(yè)冷處理低溫箱、超低溫保存箱、高低溫交變?cè)囼?yàn)箱、加熱制冷一體機(jī)

經(jīng)營(yíng)范圍

制冷設(shè)備、超低溫冷凍機(jī)、制冷加熱控溫系統(tǒng)、加熱循環(huán)系統(tǒng)、防爆電氣設(shè)備、正壓防爆電氣柜、自動(dòng)化集成分散控制系統(tǒng)、實(shí)驗(yàn)儀器裝置、機(jī)械設(shè)備及配件的制造、加工、銷售;自營(yíng)各類商品和技術(shù)的進(jìn)出口(國家限定公司經(jīng)營(yíng)或禁止進(jìn)出口的商品和技術(shù)除外)。(依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng))

公司簡(jiǎn)介

無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司致力于反應(yīng)釜專用制冷加熱控溫系統(tǒng)、實(shí)驗(yàn)儀器設(shè)備、超低溫設(shè)備、制藥設(shè)備、試驗(yàn)箱的開發(fā)、生產(chǎn)與貿(mào)易的科技實(shí)體。...

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