反應(yīng)性離子蝕刻RIE研磨去層反向ic失效分析-歐美人禽雜交av片在線觀看,婷婷五月久久丁香國(guó)產(chǎn)綜合メイリン モデルコレクション メ
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RIE
SamcoInternational是始于1979年的等離子蝕刻與沉積系統(tǒng)制造商;日本Zui大的客制Plasma和Deposition設(shè)備供應(yīng)商;日本京都、美國(guó)硅谷、英國(guó)劍橋、中國(guó)上海、中國(guó)臺(tái)灣和東南亞都有我們的設(shè)備和服務(wù)支持。SamcoInternational為混合半導(dǎo)體、MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))、光電、失效分析以及其他市場(chǎng)制造各種各樣的系統(tǒng)。我們的產(chǎn)品在業(yè)內(nèi)以系統(tǒng)占地面積Zui小、性價(jià)比Zui低著稱,且生產(chǎn)可靠性久經(jīng)考驗(yàn)。從整套生產(chǎn)需要工具、到簡(jiǎn)單的實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng),SamcoInternational均有提供。
反應(yīng)性離子蝕刻,簡(jiǎn)稱為RIE,Zui為各種反應(yīng)器廣泛使用的方法,便是結(jié)合(1)物理性的離子轟擊與(2)化學(xué)反應(yīng)的蝕刻。此鐘方式兼具非等向性與高蝕刻選擇比等雙重優(yōu)點(diǎn),蝕刻的進(jìn)行主要靠化學(xué)反應(yīng)來達(dá)成,以獲得高選擇比。加入離子轟擊的作用有二:一是將被蝕刻材質(zhì)表面的原子鍵結(jié)破壞,以加速反應(yīng)速率。二是將再沉積于被蝕刻表面的產(chǎn)物或聚合物(polymer)打掉,以使被蝕刻表面能再與蝕刻氣體接觸。
反應(yīng)離子蝕刻設(shè)備RIE-10NR特點(diǎn):
1. 高選擇性各向異性腐蝕,符合苛刻的制程要求;
2. 全自動(dòng)"一鍵"操作完全代替手動(dòng)操作;
3.易于使用的電腦觸摸屏的參數(shù)控制和配方輸入和存儲(chǔ);
4.晶圓尺寸達(dá)8"英寸直徑,圓滑、緊湊的設(shè)計(jì)使用Zui少的潔凈室空間;
5.RIE-10NR設(shè)計(jì)用于蝕刻氮化物、氧化物和任意需要氟基化學(xué)的薄膜或基片。其安裝在節(jié)省空間的平臺(tái)上的模塊化設(shè)計(jì),使其成為全世界許多用戶的系統(tǒng);
6.選項(xiàng):ICP(電感耦合等離子)、渦淪泵、帶背側(cè)氦冷卻系統(tǒng)和端點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)的靜電吸盤等;
7.業(yè)已全面開發(fā)出各種工藝,用于對(duì)使用氟基化學(xué)的材料進(jìn)行各向同性和各向異性蝕刻,其中包括:碳、環(huán)氧樹脂、石墨、銦、鉬、氮氧化物、光阻劑、聚酰亞胺、石英、硅、氧化物、氮化物、鉭、氮化鉭、氮化鈦、鎢鈦以及鎢。
半導(dǎo)體失效分析設(shè)備,F(xiàn)IB雙束電鏡,探針臺(tái),IC反向開封機(jī),EMMI光發(fā)射顯微鏡
技術(shù)開發(fā)、技術(shù)服務(wù)、技術(shù)咨詢、技術(shù)轉(zhuǎn)讓;銷售機(jī)械電器設(shè)備、文化體育用品、實(shí)驗(yàn)室設(shè)備、辦公用品。(企業(yè)依法自主選擇經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目,開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng);依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后依批準(zhǔn)的內(nèi)容開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng);不得從事本市產(chǎn)業(yè)政策禁止和限制類項(xiàng)目的經(jīng)營(yíng)活動(dòng)。)
儀準(zhǔn)企業(yè)集團(tuán)是一家專業(yè)從事電子產(chǎn)品分析測(cè)試設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)以及國(guó)外先進(jìn)設(shè)備代理的整合商。旗下公司有儀準(zhǔn)科技(香港)有限公司、上海儀準(zhǔn)電子科技有限公司、儀準(zhǔn)科技(北京)有限公司、臺(tái)灣儀準(zhǔn)科技有限公司,形成了橫跨兩岸三地;集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、售后為一體的產(chǎn)業(yè)化模式。公司產(chǎn)品涵蓋半導(dǎo)體IC業(yè)、LCD(TFT)光電業(yè)、LED照明、太陽能等高科技領(lǐng)域。公司擁有一批有著多年豐富經(jīng)驗(yàn)的銷售人員、應(yīng)用技術(shù)支持及服務(wù)人員;不僅能提供完整的設(shè)備方案,還能提供相...