純水?超純水?實驗室 / 電子級水全套檢測標準 GB/T 6682 GB/T 33087 GB/T 11446.1-精品國產(chǎn)一區(qū)二區(qū)三區(qū)久久久香蕉-美女扒開尿口讓男生添動態(tài)圖
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分為一級、二級、三級水，常規(guī)理化、色譜、ICP?MS 用水強制依據(jù)
表格
檢測項目一級水（超純水）二級水三級水電阻率 (25℃)≥18.2 MΩ·cm≥1.0 MΩ·cm≥0.2 MΩ·cm電導(dǎo)率≤0.056 μS/cm≤1.0 μS/cm≤5.0 μS/cmTOC 總有機碳≤10 μg/L≤50 μg/L?254nm 吸光度≤0.001≤0.01?可溶性硅≤0.01 mg/L≤0.025 mg/L?細菌總數(shù)≤1 CFU/mL≤10 CFU/mL≤100 CFU/mL適用：普通實驗室器皿清洗、試劑配制、HPLC、液相質(zhì)譜、原子吸收
ICP?MS、液質(zhì)、痕量重金屬檢測專用
電阻率≥18.0 MΩ?cm@25℃
TOC ≤5 μg/L
顆?！?.1μm ≤10 個 /mL
金屬雜質(zhì)（Fe、Cu、Na、K、Ca、Mg、Zn、Ni）≤0.1μg/L
分為 EW?Ⅰ / EW?Ⅱ / EW?Ⅲ / EW?Ⅳ 四個等級，芯片制程高等級 EW?Ⅰ
表格
參數(shù)EW?Ⅰ（芯片高端制程）EW?ⅡEW?ⅢEW?Ⅳ電阻率 25℃≥18 MΩ?cm（5% 時長≥17）≥15（5%≥13）≥12≥0.5全硅≤2 μg/L≤10≤50≤1000細菌≤0.01 CFU/mL≤0.1≤10≤100Cu≤0.2 μg/L≤1≤2≤500Zn≤0.2 μg/L≤1≤5≤500Fe≤0.3 μg/L≤2≤10≤500GB/T?11446 整套系列：
GB/T 11446.2 電阻率測試
GB/T粒檢測
GB/T 11446.4 總有機碳
GB/T 11446.5 硅含量
GB/T 11446.6 金屬離子
GB/T 11446.7 細菌測試
GB 50685?2011《電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》
GB 51122?2015《集成電路封裝測試廠設(shè)計規(guī)范》
Type?Ⅰ 超純水：18.2 MΩ?cm、TOC＜50ppb、0.22μm 過濾、痕量元素＜1μg/L
Type?Ⅱ 二級純水、Type?Ⅲ 三級沖洗用水
ASTM D5127?24 電子半導(dǎo)體行業(yè)超純水指南，分 E?1 ~ E?1.3 多檔，適配不同芯片線寬（0.032μm先進制程 E?1.3）
SEMI F63?0521 國際半導(dǎo)體協(xié)會 UPW 超純水標準，先進制程金屬雜質(zhì)控制至ppt（ng/L）級別；配套體系 SEMIF61（純水系統(tǒng)設(shè)計）、SEMI F75 水質(zhì)監(jiān)測規(guī)范
電阻率 / 電導(dǎo)率（在線 25℃）、pH、TOC 總有機碳、DO 溶解氧、蒸發(fā)殘渣、吸光度
0.05μm、0.1μm、0.2μm、0.5μm 粒徑顆粒數(shù)量
鈉、鉀、鈣、鎂、鐵、銅、鋅、鎳、鉻、鋁、錳、鉛、硼、銀、鈦
氯離子、根、硝酸根、亞硝酸根、磷酸根、氟離子
可溶性硅、總硅
細菌總數(shù)、霉菌酵母菌、內(nèi)毒素 / 熱原
常規(guī)化學(xué)實驗室：GB/T6682?二級水
痕量儀器（ICP?MS、LC?MS）：GB/T33087?2016 / ASTM?Type?Ⅰ
光伏、普通電子元器件：EW?Ⅱ 級 GB/T11446
晶圓、光刻、先進制程芯片：EW?Ⅰ、SEMI?F63 標準，金屬離子 ppt 級別管控
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