PA-LAMI-01系列低噪聲加速度傳感器由西安精準(zhǔn)測(cè)控有限責(zé)任公司自行研制，用于測(cè)量加速度的傳感器。它采用高精度 MEMS 芯片，具有 BIMOS信號(hào)限制電路，與此同時(shí)設(shè)計(jì)考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝技術(shù)，具有高可靠性和高封裝堅(jiān)固性，并具有溫度傳感器輸出、自檢測(cè)（Self-Test）等功能，可實(shí)現(xiàn)溫補(bǔ)和自檢測(cè)。
1.2. 產(chǎn)品應(yīng)用
本產(chǎn)品可用于汽車測(cè)控、慣性導(dǎo)航、飛行器安全系統(tǒng)、地震監(jiān)控、傾斜、速度和位置的慣性、振動(dòng)和沖擊試驗(yàn)臺(tái)加速度的測(cè)量等系統(tǒng)中。
1.3. 工作原理
PA-LAMI系列低噪聲加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面 MEMS多硅結(jié)構(gòu)，其中多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結(jié)構(gòu)，并提供一個(gè)克服加速度感應(yīng)力的阻力。用包含兩個(gè)獨(dú)立的固定板和一個(gè)與運(yùn)動(dòng)質(zhì)塊相連的中央板形成的差動(dòng)電容器機(jī)構(gòu)來測(cè)量比例于加速度的多硅結(jié)構(gòu)的偏轉(zhuǎn)，從而產(chǎn)生電壓輸出信號(hào)。
1.4. 技術(shù)條件
| 測(cè)量范圍（g） | ±100 |
| 頻響（Hz） | 100 |
| 零 g偏置電壓（V） | 2.5±0.02 ① |
| 靈敏度②（mV／g） | 20±1 |
| 滿量程輸出（V）③ | 0.5~4.5V |
輸出噪聲（差分 RMS，V/）
? HZ | 20 |
| 交叉軸影響（%） | <1 |
| 偏置溫漂 (mg)/°C | <5 （ -55 to +125°C全溫范圍內(nèi)） |
| 刻度因數(shù)溫漂（ ppm/°C） | <100（-55 to+125°C全溫范圍內(nèi)） |
| 非線性度(％ F.S) | 0.5 |
供電要求
工作環(huán)境
| 使用溫度（°C） | -55 to+125°C |
| 耐加速度 0.1ms | 2000g |
重量、體積
| 重量(g) | <30 |
| 體積(mm3 ) | 28×28×15.5 |
1.5. 電氣接口
| 引線色別 | 紅 | 黑 | 蘭 | 屏蔽套 |
| 信號(hào) | +12V | 地 | AXout | 殼體地 |