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在化學機械拋光(CMP)工序之后,晶圓表面殘留的金屬雜質和研磨顆粒需要被徹底清除。電子級草酸(OxalicAcid)作為一種有機酸螯合劑,在這一環(huán)節(jié)中扮演著金屬雜質“捕手”的角色-。

電子級草酸能夠與晶圓表面的金屬離子形成穩(wěn)定的絡合物,將其從硅片表面“帶走”-。研究表明,含有草酸的清洗液能夠有效去除CMP后晶圓上吸附的金屬雜質,且不會腐蝕金屬布線-。這一特性使得草酸在銅互連工藝的后清洗環(huán)節(jié)具有的價值-。

山東安達化工科技生產(chǎn)的電子級草酸,經(jīng)過深度提純處理,金屬離子含量控制在電子級標準范圍之內(nèi)-。產(chǎn)品可加工成不同濃度的水溶液,應用于電子材料加工、線路板清洗等環(huán)節(jié)-。在半導體基板的清洗工藝中,草酸與檸檬酸等有機酸配合使用,能夠增強對微小粒子與金屬離子的清除能力-。

除了半導體領域,電子級草酸還在新能源行業(yè)有廣泛應用——用于草酸亞鐵、磷酸鐵鋰、鋰電池組及電子試劑的制備-。山東安達以穩(wěn)定的產(chǎn)品質量和可靠的供應能力,為多個高端制造領域提供電子級草酸解決方案。


更新時間
皇冠會員
第1年
統(tǒng)一社會信用代碼
91370303MAEHUP6U3K
成立日期
2025年04月21日

主營產(chǎn)品

TBPB過氧化苯甲酸叔丁酯 三異丙醇胺,二甘醇胺,DMDEE,DL-氨基丙醇,三 二乙醇胺,偶氮二甲酰胺,乙醇鈉 甲醇鈉,丙二醇 MMA 丁二酸酐,氫氧化鋰 DMAC DMSO TBPB過氧化物

公司簡介

山東安達化工科技有限公司是一家專注于精細化學品研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術企業(yè),致力于為全球客戶提供高品質的化工產(chǎn)品及定制化解決方案。公司依托先進的生產(chǎn)工藝、嚴格的質量管理體系以及的技術服務團隊,在醫(yī)藥、農(nóng)藥、涂料、電子、新能源、塑料橡膠、紡織印染等多個領域建立了良好的市場聲譽。核心產(chǎn)品與業(yè)務領域  公司主營產(chǎn)品涵蓋有機胺類、催化劑、固化劑,溶劑、中間體及新能源材料等多元化品類,具體包括:  1. 胺類系列 異丙醇胺系列:一異丙醇胺、二異...

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