# GB/T 11446?2013 電子級水檢測標準（現(xiàn)行全套） >
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電子級水檢測 GB/T 11446
替代舊版 1997 版，2014?08?15 實施，半導體、面板、光伏電子超純水專用國標，區(qū)分于實驗室用水GB/T 6682。
表格
標準號標準名稱核心內容| GB/T 11446.1?2013 | 電子級水 技術要求 | 分級 EW?Ⅰ/EW?Ⅱ/EW?Ⅲ/EW?Ⅳ、指標限值、檢驗規(guī)則 |
| GB/T 11446.3?2013 | 電子級水 采樣、貯存和運輸 | 取樣容器、取樣流程、防污染要求 |
| GB/T 11446.4?2013 | 電子級水電阻率的測試方法 | 25℃電阻率測定，在線 / 離線檢測 |
| GB/T 11446.5?2013 | 電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法 | Cu、Zn、Fe、Ni、K、Na 等痕量金屬 |
| GB/T 11446.6?2013 | 電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法 | 全硅（SiO?），檢出限 1μg/L |
| GB/T 11446.7?2013 | 電子級水中痕量陰離子的離子色譜測試方法 | F?、Cl?、NO??、Br?、NO??、PO?3?、SO?2? |
| GB/T 11446.8?2013 | 電子級水中總有機碳 TOC 的測試方法 | ppb 級總有機碳測定 |
| GB/T 11446.9?2013 | 電子級水中微粒的儀器測試方法 | ≥0.05μm 顆粒計數(shù)，顆粒計數(shù)器法 |
| GB/T 11446.10?2013 | 電子級水中細菌總數(shù)的濾膜培養(yǎng)測試方法 | 微生物細菌計數(shù) |
表格
檢測項目EW?Ⅰ（超高純）EW?Ⅱ（高純）EW?ⅢEW?Ⅳ| 電阻率 MΩ?cm | ≥18（5% 時間≥17） | ≥15（5% 時間≥13） | ≥12 | ≥0.5 |
| 全硅 (SiO?) μg/L | ≤2 | ≤10 | ≤50 | ≤1000 |
| 總有機碳 TOC μg/L | ≤3 | ≤10 | ≤50 | ≤1000 |
| 細菌總數(shù) CFU/mL | ≤0.01 | ≤0.1 | ≤10 | ≤100 |
| 銅 Cu μg/L | ≤0.2 | ≤1 | ≤2 | ≤500 |
| 鐵 Fe μg/L | ≤0.3 | ≤2 | ≤10 | ≤500 |
| 鋅 Zn μg/L | ≤0.2 | ≤1 | ≤5 | ≤500 |
| 鎳 Ni μg/L | ≤0.1 | ≤1 | ≤2 | ≤500 |
| 顆粒＞0.5μm 個 / L | ≤4 | — | — | — |
EW?Ⅰ 用于先進芯片、晶圓清洗；EW?Ⅱ 面板、分立器件；EW?Ⅲ 封裝測試；EW?Ⅳ 粗洗、冷卻用水。
電阻率 GB/T11446.4?2013
全硅（二氧化硅） GB/T11446.6?2013
總有機碳 TOC GB/T11446.8?2013
微粒（顆粒） GB/T11446.9?2013
細菌總數(shù) GB/T11446.10?2013
痕量金屬（Cu、Fe、Zn、Ni、K、Na、Ca、Mg 等） GB/T11446.5?2013
陰離子（F?、Cl?、NO??、Br?、NO??、PO?3?、SO?2?） GB/T11446.7?2013
采樣規(guī)范 GB/T11446.3?2013
所有指標以25℃為基準，非25℃實測值需要溫度修正后判定等級。
EW?Ⅰ 級取樣極易環(huán)境污染，必須嚴格執(zhí)行 GB/T11446.3 取樣容器、取樣操作。
該標準為推薦性國標，半導體工廠企業(yè)內控常參考SEMI 標準，指標嚴于國標。
實驗室超純水 GB/T6682≠電子級水 GB/T11446，顆粒、痕量金屬、陰離子、微生物要求差異巨大，不可互相替代。
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