射頻探針臺
CRF-6
臺體尺寸
6英寸
水平旋轉(zhuǎn)
可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置
X-Y移動行程
6英寸*6英寸
X-Y移動精度
10微米/1微米
樣品固定
真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)
針座平臺
Zui多可放置6個探針座
背電極測試
樣品臺電學獨立懸空，4mm插孔可接背電極
顯微鏡
單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡
放大倍率
16X-200X/20X-4000X
移動行程
X-Y軸行程2英寸*2英寸/水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm
光源
外置LED環(huán)形光源/同軸光源
CCD
200萬像素/500萬像素/1200萬像素
探針座
X-Y-Z移動行程
12mm*12mm*12mm
移動精度
2微米/0.7微米/0.5微米
角度調(diào)節(jié)
可調(diào)射頻探針水平角度±10度
吸附方式
磁力吸附/真空吸附
探針夾具
同軸線/三軸線/射頻線
漏電精度
10pA/100fA/10fA
固定探針
彈簧固定/管狀固定/限位固定
接頭類型
BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子/SMA/2.92mm/2.4mm/1.85mm/1.0mm
直流針尖直徑
0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
射頻探針頻率
DC-40GHZ/50GHZ/67GHZ/110GHZ
材質(zhì)
鎢鋼/鈹銅
外形
580mm長*480mm寬*600mm高
重量
約60千克
可選附件
加熱臺
屏蔽箱
高壓測試配件
顯示器
光學平臺
顯微鏡快速傾仰裝置
轉(zhuǎn)接頭
鍍金卡盤
激光系統(tǒng)
光電測試配件
探針卡夾具
根據(jù)客戶要求定制
探針臺，光學平臺
一般經(jīng)營項目是：汽車配件、電子產(chǎn)品、電子元件、電器設(shè)備及配件、測試儀器儀表及配件、實驗室設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)開發(fā)及銷售；計算機軟件開發(fā)；國內(nèi)貿(mào)易、貨物及技術(shù)進出口（法律、行政法規(guī)、國務(wù)院決定規(guī)定在登記前須經(jīng)批準的項目除外）。，許可經(jīng)營項目是：機、電、液一體化成套設(shè)備設(shè)計及生產(chǎn)。
深圳市中科超能科技有限公司是一家專業(yè)從事半導(dǎo)體技術(shù)行業(yè)檢測設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。專注于為半導(dǎo)體、LCD、太陽能等行業(yè)領(lǐng)域提供綜合性解決方案，為全國各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供先進的測試儀器，立志成為行業(yè)一流的專用檢測設(shè)備專家，為行業(yè)的發(fā)展貢獻自己的力量。主要產(chǎn)品有：手動探針臺、自動探針臺、激光測試儀、美國GGB全系列探針、光學平臺、金相顯微鏡、I-V/C-V參數(shù)測試儀等...