四路質(zhì)子混氣管式PECVD

本爐子分為四大部分：開啟式管式爐，等離子射頻電源（50-500w），真空泵和閥門、質(zhì)子流量計。

該爐在傳統(tǒng)PECVD系統(tǒng)基礎(chǔ)上實現(xiàn)了快速加熱、冷卻功能，該爐底部安裝了一對滑軌，可手動滑動。采用雙層殼體結(jié)構(gòu)。該爐安裝有行程開關(guān)，當爐蓋打開時會自動切斷電源，有效地保證使用者。為取得快速加熱，可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度，然后移動爐子到樣品位置。為獲得快速冷卻，可在樣品加熱后移動爐子到另一端。

主要特點：雖環(huán)境溫度在100-300℃，但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解，離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性。因此，這些具有反應(yīng)禍心個點中性物質(zhì)很容易被吸附到較低溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜。

實驗機理：輝光放等離子體重，電子密度高，電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100

技術(shù)參數(shù)：

1. 額定溫度：1100℃                   2.上限溫度：1200℃

3.電壓：220V                           4.加熱元件：電阻絲

5.熱電偶：K型                         6.溫控方式：智能化30段可編程控制

7.加熱段：220mm+220mm                           

8.升溫速率：≤30℃/min    推薦升溫速率：≤15℃/min

9.射頻電源：輸出功率：50-500w可調(diào)±1％ 穩(wěn)定性

               頻率：13.56MHz±0.005％

               噪聲：﹤50dB

                冷卻：空氣冷卻

                輸入功率：AC220V，500W

10.真空泵和閥門：采用KF25系列波紋管和精密球閥連接

                       真空度可達10ˉ3pa

                       數(shù)字真空壓力表可直觀的顯示數(shù)值

11.質(zhì)量流量計：內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量訓(xùn)科準確的控制氣體流量

                   氣體流量范圍為0-200sccm，誤差：0.02％

                    一個氣體攪拌罐上安裝了液體釋放閥的底部情況

                    不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動控制混合氣體輸入的數(shù)量

                     進氣口：采用標準雙卡套接頭