產(chǎn)品介紹

ATO靶材（Sb2O3+SnO2）

l         純度/Purity

99.99%min

l         尺寸/size

l         圓片/圓臺(tái)（直徑<360mmX厚度>1mm）

l         矩形/片材/臺(tái)階狀（長(zhǎng)<300mmX寬<300mmX厚度>1mm）

l         管材/圓環(huán)/旋轉(zhuǎn)靶材（直徑<360mmX厚度>2mm）

l         按照?qǐng)D紙加工，大尺寸需來(lái)電咨詢

l       

l         交期/Deliverydate

1-3周

l         運(yùn)輸/Traffic

l         順豐快遞

強(qiáng)烈建議陶瓷化合物靶材綁定背靶使用

      陶瓷化合物靶材本身質(zhì)脆且導(dǎo)熱性差，連續(xù)長(zhǎng)時(shí)間濺射易發(fā)生裂靶情況，綁定背靶后，可以提高化合物靶材的導(dǎo)熱性能，提高靶材的使用壽命。我們強(qiáng)烈建議您，選購(gòu)陶瓷化合物靶材一定要綁定銅背靶！

      我公司采用高純銦作為焊料，銦焊厚度約為0.2mm，高純無(wú)氧銅作為背靶。

      注意：高純銦的熔點(diǎn)約為156℃，靶材工作溫度超過(guò)熔點(diǎn)會(huì)導(dǎo)致銦熔化！綁定背靶不會(huì)影響靶材的正常使用！

      建議：陶瓷脆性靶材、燒結(jié)靶材，高功率下濺射易碎，建議濺射功率不超過(guò)3W/cm2。

陶瓷靶材采用常壓燒結(jié),氣氛燒結(jié),熱等靜壓燒結(jié)等工藝,嚴(yán)格控制原料的純度,成分及成型坯料額設(shè)計(jì)尺寸,坯料經(jīng)過(guò)精密機(jī)械加工成靶材,可根據(jù)客戶要求定制加工特殊摻雜比例靶材。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)        靶材純度高,致密度高,成分均勻

產(chǎn)品規(guī)格       圖片靶材，矩形靶材，圓柱靶材，臺(tái)階片靶材，管型靶材，根據(jù)客戶的圖紙定制

產(chǎn)品用途磁控濺射鍍膜材料等

產(chǎn)品附件正式報(bào)價(jià)單/購(gòu)銷合同/裝箱單/材質(zhì)分析檢測(cè)單

適用儀器各類型號(hào)磁控濺射設(shè)備

服務(wù)項(xiàng)目  靶材成份比例、規(guī)格、純度均可按需定制。科研單位貨到付款，質(zhì)量保證，售后無(wú)憂

加工流程  熔煉→提純→鍛造→機(jī)加工→檢測(cè)→包裝出庫(kù)

廠家優(yōu)勢(shì)

   收貨后7日內(nèi)可協(xié)商退換貨

   靶材種類齊全

支持合金靶材定制，請(qǐng)?zhí)峁┌胁漠a(chǎn)品的元素、比例（重量比或原子比）、規(guī)格，我們會(huì)盡快為您報(bào)價(jià)！！

本網(wǎng)站價(jià)格只做參考，期待您的垂詢！ 

服務(wù)項(xiàng)目：靶材成份比例、規(guī)格、純度均可按需定制?？蒲袉挝回浀礁犊?，質(zhì)量保證，售后無(wú)憂！

產(chǎn)品附件：發(fā)貨時(shí)產(chǎn)品附帶裝箱單/質(zhì)檢單/

適用儀器：多種型號(hào)磁控濺射、熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)設(shè)備 

質(zhì)量控制：嚴(yán)格控制生產(chǎn)工藝，采用輝光放電質(zhì)譜法GDMS或ICP光譜法等多種檢測(cè)手段，分析雜質(zhì)元素含量保證材料的高純度與細(xì)小晶粒度；可提供質(zhì)檢報(bào)告。 

加工流程：熔煉→提純→鍛造→機(jī)加工→檢測(cè)→包裝出庫(kù)

高純?yōu)R射靶材（規(guī)格按要求定做）

高純金屬濺射靶材

鋁靶Al、鉻靶Cr、銅靶Cu、鐵靶Fe、鋅靶Zn、錫靶Sn、鎂靶Mg、鈷靶Co、鎳靶Ni、鈦靶Ti、金靶Au、銀靶Ag、鉑靶Pt、錸靶Re、釕靶Ru、鈀靶Pd、銠靶Rh、銥靶Ir、銦靶In、釩靶V、鎘靶Cd、鎢靶W、鉬靶Mo、鉭靶Ta、鈮靶Nb、鋯靶Zr、鉿靶Hf、鍺靶Ge、硅靶Si、錳靶Mn、鉍靶Bi、硒靶Se、硼靶B、鈣靶Ca

合金濺射靶材 （規(guī)格按要求定做）

鈦鋁Ti-Al、鋁硅Al-Si、鋁銅Al-Cu、鋁鈦Al-Ti、銀銅Ag-Cu、鋁鎂Al-Mg、鈷鐵硼Co-Fe-B、銅銦鎵Cu-In-Ga、鐵錳Fe-Mn、銦錫In-Sn、鈷鐵Co-Fe、鎳鈷Ni-Co、鎳鐵Ni-Fe、鎳鉻Ni-Cr、鎳鋯Ni-Zr、鎳鋁Ni-Al、鎳銅Ni-Cu、鎳釩Ni-V、鎢鈦W-Ti、鋅鋁Zn-Al、鋁鈦硼Al-Ti-B、鋁鈧Al-Sc、釩鋁鐵V-Al-Fe、銅錫Cu-Sn、鋯鋁Zr-Al、釩鋁V-Al、硼鐵B-Fe

陶瓷靶材 （規(guī)格按要求定做）

ITO靶材、AZO靶材、IGZO靶材、氧化鎂靶材MgO、氧化釔靶材Y2O3、氧化鐵靶材Fe2O3、氧化鎳靶材Ni2O3、氧化鉻靶材Cr2O3、氧化鋅靶材ZnO、硫化鋅靶材ZnS、硫化鎘靶材CdS、硫化鉬靶材MoS2、二氧化硅靶材SiO2、一氧化硅靶材SiO、二氧化鋯靶材ZrO2、五氧化二鈮靶材Nb2O5、二氧化鈦靶材TiO2、二氧化鉿靶材HfO2、二硼化鈦靶材TiB2、二硼化鋯靶材ZrB2、三氧化鎢靶材WO3、三氧化二鋁靶材Al2O3、五氧化二鉭靶材Ta2O5、氟化鎂靶材MgF2、硒化鋅靶材ZnSe、氮化鋁靶材AlN、氮化硅靶材Si3N4、氮化硼靶材BN、氮化鈦靶材TiN、碳化硅靶材SiC、鈮酸鋰靶材LiNbO3、鈦酸鐠靶材PrTiO3、鈦酸鋇靶材BaTiO3、鈦酸鑭靶材LaTiO3、鈦酸鍶靶材SrTiO3等高密度陶瓷濺射靶材.

稀土靶材

 釓靶Gd、釤靶Sm、碲靶Te、鏑靶Dy、鈰靶Ce、釔靶Y、鑭靶La、銻靶Sb、鐿靶Yb、鉺靶Er、鋱靶Tb、鈥靶Ho、銩靶Tm、釹靶Nd、鐠靶Pr、镥靶Lu

稀土陶瓷靶

氧化鑭靶La2O3、氧化鈰靶CeO2、氧化鐠靶Pr6O11、氧化釹Nd2O3、氧化釤靶Sm2O3、氧化釹靶Nd2O3、氧化鉺Er2O3靶、氧化銩靶Tm2O3、氧化鈥靶Ho2O3、氧化銪靶Eu2O3等稀土陶瓷靶材