凈化車(chē)間是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室，無(wú)塵潔凈室安裝，該無(wú)塵車(chē)間對(duì)環(huán)境潔凈度、溫濕度控制等都有一定的要求。相對(duì)于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造無(wú)塵車(chē)間有面積大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。

根據(jù)潔凈室車(chē)間空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類型：循環(huán)空調(diào)機(jī)配合高效送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。

進(jìn)車(chē)間操作具體步驟

a．一更換鞋步驟：先打開(kāi)門(mén)進(jìn)入一更后，立即關(guān)上門(mén)；坐在鞋柜上，把室外鞋脫下后放入鞋柜內(nèi)，雙腳不要著地，同時(shí)轉(zhuǎn)身?yè)Q上潔凈區(qū)專用鞋。如穿有外套和攜帶有個(gè)人物品，應(yīng)先脫掉外套、取出個(gè)人物品放入一更更衣柜。如不需脫外套可直接進(jìn)入二更。

b．二更換衣步驟：打開(kāi)門(mén)進(jìn)入后，立即關(guān)上門(mén)；從衣柜內(nèi)取出無(wú)塵衣、口罩、手套。先戴好口罩，然后穿上無(wú)塵衣，無(wú)塵潔凈室設(shè)計(jì)，更衣后頭發(fā)不得外露，無(wú)塵潔凈室，口罩應(yīng)蓋住鼻孔。更衣完畢后先用洗滌劑洗盡手上的污物，然后用清水沖洗干凈。需要接觸產(chǎn)品的人員要帶潔凈橡膠手套。

c .進(jìn)入緩沖間步驟：打開(kāi)門(mén)進(jìn)入后，立即關(guān)上門(mén)；把手放入消毒液中浸泡至少40秒鐘（只要露出潔凈服的手的部位均要浸到消毒液），再用清水沖洗干凈后烘干；手消毒完成后，然后通過(guò)潔凈走廊進(jìn)入各自的生產(chǎn)操作區(qū)域（如帶潔凈手套可直接進(jìn)入）。

潔凈工作臺(tái)可以在操作臺(tái)上形成無(wú)菌、無(wú)塵的局部?jī)艋臻g，無(wú)塵潔凈室廠家，其主要部件有預(yù)過(guò)濾器、高效過(guò)濾器、風(fēng)機(jī)機(jī)組、靜壓箱、外殼、臺(tái)面和配套的電器元器件等。潔凈工作臺(tái)有足夠的送風(fēng)量，選擇合適的氣流流形和可靠的過(guò)濾裝置，確保所需的空氣潔凈度等級(jí)；有排風(fēng)裝置時(shí)，應(yīng)選用必要的排風(fēng)處理裝置或技術(shù)措施，達(dá)到不污染室內(nèi)外環(huán)境的排放要求；噪聲低、振動(dòng)小、滿足相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的要求；操作面光滑、平整、無(wú)凹凸、防止積塵；工作臺(tái)內(nèi)操作面上的氣流分布應(yīng)均勻、可調(diào)；工作臺(tái)的工作和空氣潔凈度以及其他特殊要求等宜采用自動(dòng)控制，至少應(yīng)裝設(shè)必要的顯示儀表顯示工作臺(tái)的工作狀態(tài)；工作臺(tái)內(nèi)的過(guò)濾器應(yīng)拆裝方便。

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