第1種形式在小規(guī)模低等級(jí)要求的潔凈室車間設(shè)計(jì)中被廣泛應(yīng)用，潔凈室工程造價(jià)，對(duì)于大面積高等級(jí)的潔凈車間則存在運(yùn)行成本過高、占用空間過大等缺點(diǎn)。

第二種形式的設(shè)計(jì)可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級(jí)的要求，但運(yùn)行成本較高，并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級(jí)改造困難，潔凈室，因此操作靈活性很低。

第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低，潔凈室品牌，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)升級(jí)和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求，因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為很主要的凈化設(shè)計(jì)方案。

潔凈工作臺(tái)可以在操作臺(tái)上形成無菌、無塵的局部凈化空間，其主要部件有預(yù)過濾器、高效過濾器、風(fēng)機(jī)機(jī)組、靜壓箱、外殼、臺(tái)面和配套的電器元器件等。潔凈工作臺(tái)有足夠的送風(fēng)量，選擇合適的氣流流形和可靠的過濾裝置，確保所需的空氣潔凈度等級(jí)；有排風(fēng)裝置時(shí)，應(yīng)選用必要的排風(fēng)處理裝置或技術(shù)措施，達(dá)到不污染室內(nèi)外環(huán)境的排放要求；噪聲低、振動(dòng)小、滿足相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的要求；操作面光滑、平整、無凹凸、防止積塵；工作臺(tái)內(nèi)操作面上的氣流分布應(yīng)均勻、可調(diào)；工作臺(tái)的工作和空氣潔凈度以及其他特殊要求等宜采用自動(dòng)控制，至少應(yīng)裝設(shè)必要的顯示儀表顯示工作臺(tái)的工作狀態(tài)；工作臺(tái)內(nèi)的過濾器應(yīng)拆裝方便。

盡量減少由于風(fēng)機(jī)、電動(dòng)機(jī)的溫升而消耗處理空氣的能量。風(fēng)機(jī)在運(yùn)行中，本身溫度升高，電動(dòng)機(jī)在運(yùn)行中，電動(dòng)機(jī)表面溫度也升高，如果風(fēng)機(jī)及電動(dòng)機(jī)均設(shè)置在空氣處理室內(nèi)，則空調(diào)系統(tǒng)不僅要承擔(dān)處理空氣的能量，潔凈室設(shè)計(jì)，還要承擔(dān)消除由于風(fēng)機(jī)、電動(dòng)機(jī)散熱所消耗的能量；對(duì)于凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)法將電動(dòng)機(jī)移至空氣處理室之外，或?qū)L(fēng)機(jī)、電動(dòng)機(jī)均設(shè)置在空氣處理室之外，即可減少由于電動(dòng)機(jī)的溫升而增加處理空氣的冷負(fù)荷。

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