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設(shè)備優(yōu)勢(shì)在于

1.用高濃度的低能轟擊粒子來沉積鍍層

2.沉積的鍍層具有致密,非柱狀晶結(jié)構(gòu),同時(shí)能保持很低的內(nèi)應(yīng)力

3.在低溫條件下沉積致密的鍍層

4.高效的粒子清洗使鍍層有非常好的結(jié)合力

5.非常容易沉積氮化物,碳化物,氧化物

6.非常容易沉積先進(jìn)的多層鍍層

另外,此設(shè)備另外一個(gè)突出特點(diǎn)是穩(wěn)定性好,可重復(fù)性好,可鍍出性能穩(wěn)定均一,質(zhì)量優(yōu)異的薄膜。

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