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- 品牌
- KRI
- 型號
- KDC 75
- 產(chǎn)地
- 美國
KRI 考夫曼離子源 KDC75
上海伯東代理美國原裝進(jìn)口 KRI 考夫曼離子源 KDC75:緊湊柵極離子源,離子束直徑14 cm ,可安裝在 8“CF法蘭. 適用于中小型腔內(nèi), 考夫曼離子源 KDC75 包含2個陰極燈絲, 其中一個作為備用,KDC 75 提供緊密聚焦的電子束特別適合濺射鍍膜. 標(biāo)準(zhǔn)配置下離子能量范圍 100 至1200ev, 離子電流可以超過 250 mA.
KRI 考夫曼離子源 KDC75 技術(shù)參數(shù)
型號
KDC 75 / KDC 75L(低電流輸出)
供電
DC magnetic confinement
- 陰極燈絲
2
- 陽極電壓
0-100V DC
電子束
OptiBeam?
- 柵極
專用, 自對準(zhǔn)
-柵極直徑
7.5 cm
中和器
燈絲
電源控制
KSC 1212 或 KSC 1202
配置
-
- 陰極中和器
Filament, Sidewinder Filament 或LFN 2000
- 安裝
移動或快速法蘭
- 高度
7.9'
- 直徑
5.5'
- 離子束
聚焦
平行
散設(shè)
-加工材料
金屬
電介質(zhì)
半導(dǎo)體
-工藝氣體
惰性
活性
混合
-安裝距離
6-24”
- 自動控制
控制4種氣體
* 可選: 一個陰極燈絲; 可調(diào)角度的支架
KRI 考夫曼離子源 KDC75 應(yīng)用領(lǐng)域
濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC
輔助鍍膜(光學(xué)鍍膜)IBAD
表面改性, 激活 SM
離子濺射沉積和多層結(jié)構(gòu) IBSD
離子蝕刻 IBE
客戶案例: 超高真空離子刻蝕機 IBE, 真空度 5E-10torr, 系統(tǒng)配置
美國 KRI 考夫曼離子源 KDC75
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電子接插件、線束和印刷電路板以及傳真機,復(fù)印機,照相機,掃描儀用石英玻璃的生產(chǎn)加工,銷售和售后服務(wù);精密儀器、設(shè)備的維修,上述產(chǎn)品同類商品及化學(xué)產(chǎn)品,塑料、橡膠(天然橡膠除外)及其制品,木漿及其他纖維狀纖維素漿、紙及紙制品,陶瓷制品,紡織原料(棉花除外)、玻璃及其制品,賤金屬及其制品(鋼鐵除外),音像設(shè)備及其零配件,光學(xué)、攝影設(shè)備及其零配件,照明器具的批發(fā),
伯東公司成立于1953 年,全球范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導(dǎo)體設(shè)備、電子零部件加工、銷售及相關(guān)服務(wù)工作,集團年營業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國內(nèi)主要城市:北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設(shè)有營業(yè)據(jù)點。上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國客戶提供世界一流的真空產(chǎn)品、推動中國真空工藝發(fā)展、承擔(dān)企業(yè)社會責(zé)任為經(jīng)營理念,已累計為超過10,000家企業(yè)提供真空服務(wù)...