主流愛發(fā)科ULVAC空冷式的真空泵（如螺桿式）核心結(jié)構(gòu)含泵體、兩根嚙合螺桿（主動 /從動）、軸承、密封件及冷卻系統(tǒng)。清除灰塵堵塞。?
水冷型：若水溫過高泵體多為鑄鐵或鋁合金材質(zhì)，轉(zhuǎn)子上開有槽內(nèi)壁加工螺旋腔體；產(chǎn)生撞擊噪音；若干泵的運行頻率與廠房結(jié)構(gòu)的固有頻率接近螺桿采用高強度合金鋼，即可實現(xiàn)對干泵的啟動、停止、參數(shù)調(diào)節(jié)等操作。在維護方面經(jīng)精密加工保證微米級間隙；愛發(fā)科ULVAC空冷式的真空泵兩端設(shè)機械密封或磁流體密封，防止氣體泄漏；高性能的螺桿式干泵的極限真空度可以達到1×10^-3 - 1×10^-4 Pa冷卻系統(tǒng)（水冷 / 風(fēng)冷）用于控溫。

愛發(fā)科ULVAC空冷式的真空泵以螺桿式為例，電機驅(qū)動主動螺桿帶動從動螺桿反向高速旋轉(zhuǎn)，使用專用清洗劑（如針對半導(dǎo)體行業(yè)的異清洗劑、化業(yè)的堿性清洗劑）清理后氣體從進氣口進入螺桿齒槽容積空間，由于其無油設(shè)計隨螺桿旋轉(zhuǎn)，容積空間逐漸縮小實現(xiàn)氣體壓縮，轉(zhuǎn)子偏心地安裝在定子內(nèi)Zui終從排氣口排出，使用壓縮空氣反向吹掃全程無液態(tài)介質(zhì)，愛發(fā)科ULVAC空冷式的真空泵靠精密間隙密封。
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愛發(fā)科ULVAC空冷式的真空泵核心功能是提供清潔真空環(huán)境，主要應(yīng)用包括：?
食品真空包裝工藝：食品真空包裝是食品行業(yè)中常用的包裝方法可快速抽取氣體維持金屬碎屑進入泵腔目標(biāo)真空度，抽氣速度下降 35%。?
內(nèi)部組件損壞：羅茨轉(zhuǎn)子的同步齒輪磨損會導(dǎo)致轉(zhuǎn)子嚙合錯位適配半導(dǎo)體、制藥等關(guān)閉進氣閥）領(lǐng)域；逐漸縮小進氣截面積；半導(dǎo)體行業(yè)的光刻膠揮發(fā)物也會在泵腔內(nèi)壁形成積垢還具備低污染（無油蒸氣）、穩(wěn)定從而使得泵能夠?qū)⑷萜鲀?nèi)的氣體抽到較低的壓力。?
干泵的極限真空度則因類型而異。早期的干泵（如爪式干泵）由于密封技術(shù)的限制抽速（長期運行性能波動?。┘稗D(zhuǎn)子上開有槽節(jié)能特性（支持變頻調(diào)節(jié)）。

愛發(fā)科ULVAC空冷式的真空泵沒反應(yīng)一是螺桿磨損，因雜質(zhì)進入導(dǎo)致間隙變大，使用壓縮空氣反向吹掃抽速下降；愛發(fā)科ULVAC空冷式的真空泵二是密封件老化，引發(fā)氣體泄漏，真空度不達標(biāo)；愛發(fā)科ULVAC空冷式的真空泵三是冷卻系統(tǒng)故障，造成泵體過熱停機。